在国内半导体行业快速发展和国家政策的双重驱动下，国内半导体设备厂商一方面不断扩产品种类，逐步打破国外厂商垄断;另一方面，稳步提升产品性能，逐步向中高端市场渗透。

可以看到，二季度台积电营业收入同比增长36.6%，接近指引值上限。同时三季度营业收入指引为198-206亿美元，将创单季度历史新高，足以验证全球半导体行业较高的景气度。东吴证券分析师周尔双指出，在市场需求加速放量背景下，对半导体需求持续大幅提升。对于半导体设备，高基数背景下，市场普遍担心下游客户资本开支下降。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，2022年一季度中芯国际、华虹半导体产能利用率均超100%，产能吃紧。2022年下游客户资本开支仍有保障，本土半导体设备行业景气度有望延续。

作为半导体行业中景气度持续走高的细分领域，半导体设备一直是重要的投资主线之一。有分析认为，中美脱钩以后，美国封锁中国半导体产业，打造国内半导体全产业链至关重要，近年来半导体制造设备销售额强劲增长，半导体产业链有望向中国转移，2020年中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场。虽然今明两年投资高峰过后市场也存在同比下滑的可能性，但对于我国企业来说，市场份额的提升是成长的主线。目前我国半导体设备的总体国产化率尚不足10%，相关企业的盈利水平具备较高的弹性。

从产业自身发展前景来看，周尔双指出，短期而言，本土半导体设备企业已经进入业绩兑现期。中微公司和北方华创率先发布中报业绩预告，均超出市场预期，我们判断二季度半导体设备板块业绩有望延续高速增长。中长期来看，晶圆产能东移&国产替代逻辑长期存在，行业需求景气度有望长期延续。首先是晶圆产能东移。集微咨询预计中国大陆未来5年还将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，本土对半导体设备需求有望长期维持高位;其次是国产替代。2020年中国大陆晶圆设备国产化率仅7.4%，大部分环节不足10%。在半导体行业增速放缓的背景下，设备进口替代逻辑将日益凸显。中长期来看，半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业平均的业绩弹性。

半导体设备产业链上各细分领域龙头是投资者需要关注的重点。德邦证券分析师倪正洋建议重点关注国内半导体设备龙头北方华创;高端刻蚀设备龙头中微公司;持续突破高端后道测试机的长川科技、华峰测控;涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微;半导体薄膜沉积龙头拓荆科技;国产清洗设备领军企业盛美上海、至纯科技;离子注入机领先企业万业企业;半导体环保设备领先企业盛剑环境等。

潜力股精选

北方华创(002371)

公司业绩延续快速增长态势，预计上半年实现营业收入 50.5 亿元-57.7亿元，同比增长40%-60%;归母净利润7.1亿元-8.07亿元，同比增长130%-160%。业绩增长主要原因是受下游市场需求拉动，公司电子工艺装备及电子元器件业务进展良好，主要产品销售和净利润均实现大幅增长。红塔证券指出，公司作为国内半导体设备产品线最齐全的龙头企业 ， 产 品 覆 盖 刻 蚀 机 、 PVD、CVD、氧化炉、清洗机等多种设备，在当前国外设备购买受限的情况下，有望充分受益于国产化带来的庞大需求。在国产替代趋势加速的情况下，公司将得到与更多晶圆厂合作的机会，公司产品也有望进入到更多生产线，未来将在设备领域获得更强的竞争力。

中微公司(688012)

公司营业收入持续增长，2016年 -20201 年 复 合 增 长 率 达 到38.52%。公司新产品与新客户持续拓展，刻蚀设备销量提升显著且持续。公司预计2022年上半年实现营收19.7亿元，同比增长47.1%;实现扣非后净利润4.1-4.5亿元，同比增长5-6倍。国联证券指出，公司CCP设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位甚至前二位;同时公司预计可以覆盖75%的MOCVD设备市场，Mini-LED等新市场设备研发进展顺利。此外，公司已经组建团队开发LPCVD设备和EPI设备，并在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖，打造半导体平台公司，前景可期。

长川科技(300604)

公司是国产封测设备优秀企业，不断通过内生外延增强公司在分选机领域的竞争优势，同时持续加大研发投入，不断攻略高端产品测试机，并取得较大的突破。中原证券指出，公司2021年研发经费投入达研发投入3.53 亿元，占营业收入比例的23.36%，基于持续开拓高端市场的考虑，2021年研发投入较上年仍大幅上升。随着公司持续加大技术研发投入，在将现有产品领域做专、做强，保持产品市场领先地位的基础上，重点开拓了探针台、数字测试机等产品，不断拓宽产品线，并积极开拓中高端市场。未来继续围绕探针台、数字测试机等相关设备进行重点研发，以突破国外半导体设备厂商的垄断，增强公司核心竞争力。

华峰测控(688200)

公司深度绑定国内硅力杰、圣邦、艾为等Fabless客户，预计2022年公司主要客户营收有望保持30%以上高增速。其次，下游扩产将直接带动测试机设备需求增长，公司业绩增长确定性较强。西南证券指出，公司模拟ATE有望受业务出海带动，全球市占率从15%提升至21%以上，数模混合及SoC类ATE有望持续引领国产替代，2021-2024年大陆市占率有望从2%提升至28%以上;公司自研STS8300产品延展性提升推动产品放量，我们预计该产品2023年全球装机量有望突破500台，未来三年销量复合增长率保持100%以上;公司新测试平台有望2023年完成研发与验证，产品切入全球800M及以上高端SoC与数字测试市场，进一步打开全球约29亿美元市场空间。

芯源微(688037)

公司是国内半导体涂胶显影设备的龙头企业，主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于集成电路前道晶圆加工领域和后道先进封装领域，以及化合物、MEMS、LED芯片制造等领域。公司前道物理清洗设备实现国产替代，产品逐步向化学清洗设备延伸。公司在前道物理清洗领域已掌握28nm工艺节点的核心技术，该类设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。光大证券指出，公司目前在手订单饱满，本轮疫情对公司生产情况影响较小。公司核心产品在关键客户表现良好，市场认可度不断提高，新签订单保持高速增长。公司作为国内涂胶显影设备的龙头企业，涂胶显影设备和清洗设备有望随着下游客户验证及导入的加速而逐步放量。